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洁净室测试方法和过程

浏览数量: 55     作者: 本站编辑     发布时间: 2023-08-03      来源: 本站

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洁净室测试方法和过程

干净的房间测试状态可以分为三类

1,清洁室的空国家设施所有连接和运行的管道,但没有生产设备,材料和生产人员。

2,已经在生产设备中安装的洁净室的所有设施中建造了静态,并且由途中测试转弯的所有者商定的供应商,但在现场没有生产人员。

3,动态设施按照规定的工作方式来运行国家和人员的规定的规定。


洁净室测试过程

必须根据法规确定,校准或校准所有使用的工具和设备的确定。在测量之前,必须是全面的清洁,清洁和系统调整,必须连续运行一段时间,然后泄漏检测和其他测量项目。测量清洁室的过程如下。

鼓风机吹气→室内清洁→空气体积的调整→中间过滤器的安装→高效过滤器的安装→系统操作→系统操作→高效过滤器的泄漏检测→空气体积调整→调整室内静态压力差异→调整温度和湿度→清洁室平均速度的单相流量,室内清洁度的不均匀确定速度→细菌浮游细菌的室内测定以及与工作和调整有关的生产设备。


测试基础

包括规格,图纸,设计文档和设备的技术数据。分为以下两个类别:

1,设计类设计文档,支持文档的设计更改和相关协议,如构建的图纸;

2,设备的技术信息。


测试方法和结果确定

1,空气量或风速测试

(1)仪器和环境测量工具

叶轮风速计,热球动脉仪,bitou,微压计,空气体积罩。室温或设计温度下的环境温度。

(2)采样具有测试设计要求的区域。

(3)必须首先纯化空调的空气量和风速检测,各种效果必须是在获得的空气体积和风速条件的设计中。

(1)湍流流清洁室的空气体积值系统应大于相应的空气体积值,但不应超过20%。测量的新空气量和新空气量之间的差异的设计不应超过新的空气量±10%的设计。每个空气插座的室内空气量及其各自的设计空气量差不应超过设计空气量的±15%。

(2)单向层流清洁室测量的平均室内空气速度应大于设计空气速度,但不应超过20%。总测量的新鲜空气量和新的空气量差的设计不应超过新的空气量±10%的设计。

2,室内静压差测试

(1)仪器,设备和环境测量仪器倾斜的微米,数字微米表等。在室温或设计温度下的环境温度。

(2)对具有设计要求的各种相邻区域进行采样以实施测试。

(3)技术要求静态压力差测试结果应与以下规定一致

(1)在不同级别的相邻清洁房间与静态压力差之间的洁净室和非清洁房间之间的不应小于5Pa。

2)干净的房间和室外静压差异应大于10Pa。

(3)高于100级的单向流动层流层流清洁室的清洁度在开放的门状态下,在0.6m的室内侧的入口和出口不应超过室内浓度的上限。

3、空气滤清器泄漏

(1)仪器和环境测量仪器尘埃颗粒计数器,气溶胶发生器。室温或设计温度下的环境温度。

(2)在进入现场制造商之前,应要求对高效过滤器主体进行采样,以进行绩效测试并提供合规性证书。在单向流动室中安装的高效率空气过滤器应一一测试是否泄漏。

(3)操作过程并确定过滤器的泄漏是安装完整的空气过滤器泄漏测试,适用于空状态或静态清洁室。为了安装扫描方法的供应和排气端中安装的高效过滤器,用于过滤的扫描方法,边框的安装以及泄漏检测器方法的完整横截面泄漏扫描方法以及采样量粒子计数器方法两个的最少1L/min。此处,粒子计数器方法用于泄漏检测。

(1)被检查的过滤器必须在设计空气速度的80%〜120%的操作中测量了空气量。

(2)粒子计数器用于检查高效率过滤器的泄漏。

它的上风应引入均匀的大气灰尘或其他气溶胶灰尘空气。尘埃颗粒的浓度大于或等于0.5μm,应大于或等于3.5×105pc/m3;或大于或等于0.1μm的尘埃浓度应大于或等于3.5×107pc/m3,如果检测到D类高效率过滤器大于或等于0.1μm的灰尘颗粒浓度应大于或等于0.1μm等于3.5×109pc/m3。

(3)泄漏检测将以距离要以5〜20mm/s的速度检查的过滤器表面2至3厘米的距离放置在采样端口中,以移动所检查的滤镜的整个部分安装模具框架和扫描框架的安装。在扫描过程中,应将计数突然增加的部分进行检查并发现泄漏现象,即,应用硅胶橡胶或高效率过滤器更换泄漏。



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