HEPA过滤器应用
高效过滤器主要用于捕集0.5μm以上的颗粒灰尘及各种悬浮物。通常采用超细玻璃纤维纸作滤料，胶版纸、铝膜等材料作分割板，与木框铝合金胶合而成。随着材料新材料、新技术的发展，高效过滤器从原来的主要采用玻纤作为过滤材料，逐步发展到使用PTFE、纳米膜材料、复合材料等新型材料。
高效过滤器具有过滤效率高、阻力低、容尘量大等特点，可广泛用于光学电子、LCD液晶制造，生物医药、精密仪器、饮料食品，PCB印刷等行业无尘净化车间的空调末端送风处。
HEPA 过滤器测试方法
高效过滤器检测方法，历经钠焰法、油雾法、DOP法、荧光法和粒子计数法。钠焰法检测灵敏度低，无法对超高效过滤器进行检测。油雾法在检测时容易造成过滤器损伤，且不能直接读值，测试周期长。DOP法，因DOP对人体有害被归为有害物质，而限制使用。荧光法目前只在核工业系统现场检测过滤器时偶尔使用。粒子计数法成为HEPA过滤器、ULPA过滤器测试的主流方法。
与油雾法、DOP法相比，被当做测试介质的气溶胶的粒径也是不同的。前两种方法，测试的是0.3μm处的结果，而粒子计数法要测试最易穿透粒径MPPS处的测试结果，测试要求更高，结果更准确。
HEPA 过滤器测试标准
现行的行业内比较受认可的标准有EN 1822 High efficiency air filters (EPA, HEPA and ULPA)和ISO 29463 High-efficiency filters and filter media for removing particles in air。
HEPA过滤器分级
高效过滤器分级需要依据整体效率和局部效率测试结果。EN 1822和ISO对过滤器的分级略有不同，具体参见下表。
EN 1822 | ISO 29463 | Overall efficiency | Local efficiency |
E10 | - | ≥ 85% | —— |
E11 | ISO 15 E | ≥ 95% | —— |
ISO 20 E | ≥ 99% | —— | |
E12 | ISO 25 E | ≥ 99.5% | — |
ISO 30 E | ≥ 99.90% | —— | |
H13 | ISO 35 H | ≥99.95% | ≥99.75% |
ISO 40 H | ≥99.99% | ≥99.95% | |
H14 | ISO 45 H | ≥99.995% | ≥99.975% |
ISO 50 U | ≥99.999% | ≥99.995% | |
U15 | ISO 55 U | ≥99.9995% | ≥99.9975% |
ISO 60 U | ≥99.9999% | ≥99.9995% | |
U16 | ISO 65 U | ≥99.99995% | ≥99.99975% |
ISO 70U | ≥99.99999% | ≥99.9999% | |
U17 | ISO 75 U | ≥99.999995% | ≥99.9999% |
HEPA过滤器性能测试
除了整体效率和局部效率外，H13等级以上的过滤器需要逐个进行扫描检漏。根据过滤器使用的过滤材料的不同，以及过滤器使用场景的不同，要求HEPA过滤器和ULPA过滤器测试时要有多种气溶胶可供选择，这就对气溶胶发生器提出了要求。比如通常情况下使用DEHS气溶胶，当过滤材料为PTFE时或是过滤器的使用场景为半导体车间等，需要使用PSL小球固体气溶胶才能满足测试需求。
HEPA过滤器测试设备
高效过滤器的测试设备，目前市场上认可度最高的是德国TOPAS 的AFS 150 Automated HEPA/ULPA Filter Scanning Test System and AFS 152 Manual HEPA/ULPA Filter Scanning Test System. 其他的国家因相应的产业链不完整，很难制造出可以与之抗衡的测试设备。但是经过数十年的高速发展，中国在这方面形成了完整的产业链，从测试台的外壳钣金加工，到核心部件发生器、计数器，再到测试动作控制的硬件和软件等。依托这些技术，世尘科技具备了制造过滤器测试设备的能力。并经过多年的发展，与客户不断地沟通交流，进一步完善产品。如今，我们的过滤器测试设备和材料测试设备在意大利、美国、韩国、泰国、印度、俄罗斯等30多个国家和地区为全世界的客户提供服务。
